Капацитивният сензор за налягане е вид сензор за налягане, който използва капацитет като чувствителен елемент за преобразуване на измереното налягане в промяна на стойността на капацитета.Този вид сензор за налягане обикновено използва кръгъл метален филм или позлатен филм като електрод на кондензатора, когато филмът усети натиска и се деформира, капацитетът, образуван между филма и фиксирания електрод, се променя и електрическият сигнал може да бъде изход с определена връзка между напрежението през измервателната верига.
Капацитивният сензор за налягане принадлежи към капацитивния сензор за промяна на полярното разстояние, който може да бъде разделен на единичен капацитивен сензор за налягане и диференциален капацитивен сензор за налягане.
Еднокапацитивният сензор за налягане се състои от кръгъл филм и фиксиран електрод.Филмът се деформира под действието на натиск, като по този начин променя капацитета на кондензатора, а неговата чувствителност е приблизително пропорционална на площта и налягането на филма и обратно пропорционална на напрежението на филма и разстоянието от филма до фиксирания електрод .Другият тип неподвижен електрод е с вдлъбната сферична форма, а диафрагмата е опъваща равнина, фиксирана около периферията.Диафрагмата може да бъде изработена по метода на пластмасовото позлатяване.Този тип е подходящ за измерване на ниско налягане и има висока способност за претоварване.Единичен капацитивен сензор за налягане може също да бъде направен от диафрагма с бутален движещ се полюс за измерване на високо налягане.Този тип намалява зоната на директно компресиране на диафрагмата, така че може да се използва по-тънка диафрагма за подобряване на чувствителността.Той също така е интегриран с различни компенсационни и защитни секции и вериги за усилване, за да подобри способността за предотвратяване на смущения.Този сензор е подходящ за динамично измерване на високо налягане и телеметрия на самолети.Еднокапацитивните сензори за налягане също се предлагат в тип микрофон (т.е. тип микрофон) и тип стетоскоп.
Електродът на диафрагмата за налягане на диференциалния капацитивен сензор за налягане е разположен между два фиксирани електрода, за да образува два кондензатора.Под действието на налягането капацитетът на единия кондензатор се увеличава, а другият съответно намалява, а резултатът от измерването се извежда от диференциална верига.Неговият фиксиран електрод е направен от позлатен слой върху вдлъбната извита стъклена повърхност.Диафрагмата е защитена от разкъсване чрез вдлъбната повърхност по време на претоварване.Диференциалните капацитивни сензори за налягане имат по-висока чувствителност и по-добра линейност от еднокапацитивните сензори за налягане, но те са по-трудни за обработка (особено за осигуряване на симетрия) и не могат да постигнат изолация на газа или течността за измерване, така че не са подходящи за работа в течности с корозивни вещества или примеси.
Време на публикуване: 19 юни 2023 г